采样频率最高可达21kHZ，重复精度最高可达0.3um，线性度可达±0.035%，搭载全新3D测量工具和智能算法。
采样频率最高可达24kHZ，重复精度最高可达0.3um，线性度可达±0.035%，搭载全新3D测量工具和智能算法。
采样频率最高可达25kHZ，重复精度最高可达0.6um，线性度可达±0.035%，搭载全新3D测量工具和智能算法。 2023年上海市第一批创新产品推荐目录中推荐使用该产品。
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